共同研究先企業名：（株）京三製作所
共同研究講座の名称：京三先端技術共同研究講座
共同研究講座の概要：
半導体プロセスなどの製造装置はプラズマを利用して各種デバイスの成膜を行う。製造条件によってこのプラズマ放電が不安定になり、品質の低下を招く。そこで、製造条件変化などの外乱に対してもプラズマが安定に保たれるような先端技術の研究を行う。この研究講座には、京三製作所から譲原逸男氏が特任教員（教授）として就任し、横浜国大の教員と共同研究を遂行すると同時に、ご厚意でパワーエレクトロニクスの学部講義を行っていただいている。