大学院理工学府生が電気化学会第90回大会で「優秀学生講演賞」を受賞
受賞情報
賞状
受賞者
2023年 3月 27日(月)〜 29日(水)に東北工業大学 八木山キャンパスにおいて開催された電気化学会第 90回大会において、大学院理工学府 博士課程前期 1年 中山航平さん(指導教員:井上史大 准教授)が「優秀学生講演賞」を受賞しました。
受賞発表の題目は「ハイブリッド接合表面形成過程における Cu表面の評価」です。本研究では、半導体の次世代接合技術として期待されるハイブリッド接合での最適な研磨条件および洗浄手法を評価し、その優れた研究成果とプレゼンテーション能力が高く評価され今回の受賞となりました。今後、この研究結果は先端半導体製造分野での実用化に期待できます。